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本标准规定了磁控溅射用钌靶的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于微电子领域镀膜用磁控溅射钌靶(以下简称钌靶)。
有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
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