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【国家标准】蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

标号:GB/T 34504-2017 状态: 定价:31元/折扣价: 26.35元

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标准简介

本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)~92(U)号(除去铝和氧),且面密度在109atoms/cm2~1015atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。

基本信息

标准号:GB/T 34504-2017 标准名称:蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法 英文名称:Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer 标准状态: 发布日期:2025-04-28 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T34504-2017

出版信息

页数:16 字数:22 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:77.040 中标分类号:H17

起草单位

天通控股股份有限公司

起草人

康森 宋岩岩 邵峰 沈瞿欢 於震杰

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