标准动态
标准公告
标准知识
开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!
本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。
中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院
孙福楠 牛艳东 廖恒易 杜汉盛 王鸿 方华 陈鹰 周鹏云
上一篇:电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法
下一篇:信息技术系统间远程通信和信息交换休眠主机代理