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【国家标准】半导体制造用气体处理指南

标号:GB/T 34971-2017 状态: 定价:43元/折扣价: 36.55元

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标准简介

本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。

基本信息

标准号:GB/T 34971-2017 标准名称:半导体制造用气体处理指南 英文名称:Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry 标准状态: 发布日期:2025-04-30 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T34971-2017

出版信息

页数:24 字数:38 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:71.040.40 中标分类号:G86

起草单位

中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院

起草人

孙福楠 牛艳东 廖恒易 杜汉盛 王鸿 方华 陈鹰 周鹏云

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