标准号:GB/T 34898-2017标准名称:微机电系统(MEMS)技术MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法英文名称:Micro electromechanical system technology—Test method for thenonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element标准状态:发布日期:2025-05-01实施日期:0出版语种:中文简体归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出部门:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会