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【国家标准】微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

标号:GB/T 34894-2017 状态: 定价:31元/折扣价: 26.35元

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标准简介

本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。

基本信息

标准号:GB/T 34894-2017 标准名称:微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法 英文名称:Micro-electromechanical system technology—Measuring methodfor strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer 标准状态: 发布日期:2025-05-01 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 提出部门:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T34894-2017

出版信息

页数:16 字数:18 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:31.200 中标分类号:L55

起草单位

中机生产力促进中心、天津大学、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学

起草人

胡晓东 郭彤 程红兵 于振毅 李海斌 崔波 朱悦 裘安萍

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