标准动态
标准公告
标准知识
开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!
本标准规定了直径200mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。
南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院
马林宝 骆红 杨帆 金龙 杨素心
上一篇:化学品土壤弹尾目昆虫生殖试验
下一篇:电气/电子/可编程电子安全相关系统的功能安全第5部分:确定安全完整性等级的方法示例