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【国家标准】200 mm硅外延片

标号:GB/T 35310-2017 状态: 定价:29元/折扣价: 24.65元

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标准简介

本标准规定了直径200mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。

基本信息

标准号:GB/T 35310-2017 标准名称:200 mm硅外延片 英文名称:200 mm silicon epitaxial wafer 标准状态: 发布日期:2025-05-05 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T35310-2017

出版信息

页数:12 字数:16 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:29.045 中标分类号:H82

起草单位

南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院

起草人

马林宝 骆红 杨帆 金龙 杨素心

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