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本标准规定了俄歇电子能谱仪(Augerelectronspectrometer)的检定方法。本标准适用于激发源为电子束,且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
厦门大学、清华大学
姚文清 岑丹霞 张增明 徐建 刘芬 王水菊
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