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【国家标准】硅多晶真空区熔基硼检验方法

标号:GB/T 4060-2018 状态: 定价:29元/折扣价: 24.65元

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标准简介

本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量(原子数)测定范围为0.01×1013cm-3~5×1015cm-3。

基本信息

标准号:GB/T 4060-2018 标准名称:硅多晶真空区熔基硼检验方法 英文名称:Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method 标准状态: 发布日期:2025-05-11 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) 提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2) 发布部门:国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T4060-2018

出版信息

页数:12 字数:13 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:77.040 中标分类号:H17

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所

起草人

胡伟 刘晓霞 耿全荣 鲁文锋 王桃霞 胡自强 宗冰 肖建忠 万烨 杨旭

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