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【国家标准】基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

标号:GB/T 38614-2020 状态: 定价:38元/折扣价: 32.3元

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标准简介

本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。

基本信息

标准号:GB/T 38614-2020 标准名称:基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法 英文名称:Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator 标准状态: 发布日期:2025-06-22 实施日期:2147483647 出版语种:中文简体 归口单位:全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153) 提出部门:全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153) 发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T38614-2020

出版信息

页数:20 字数:26 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:01.040.39 中标分类号:N10

起草单位

沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学

起草人

须颖 戴敬 邵萌 安冬 施玉书 贾静 戴超 文杰 石怀涛

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