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【团体标准】膜厚监控用石英晶振片

标号:T/CEMIA 006-2018 状态: 定价:21元/折扣价: 17.85元

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标准简介

本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控石英晶振片。

基本信息

标准号:T/CEMIA 006-2018 标准名称:膜厚监控用石英晶振片 英文名称:Quartz crystal resonator for film thickness contro 标准状态: 发布日期:2024-11-22 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:中国电子材料行业协会 提出部门:中国电子材料行业协会 发布部门:中国电子材料行业协会
标准标签: T/CEMIA006-2018

出版信息

页数:12 字数:18 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:31.140 中标分类号:L21

起草单位

唐山万士和电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司、唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司、江苏省东海硅产业科技创新中心

起草人

王丽娟 毛晶 张立强 宫桂英 李健德 李剑 李洁 陈中康 张翔

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