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【国家标准】微机电系统(MEMS)技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

标号:GB/T 34899-2017 状态: 定价:31元/折扣价: 26.35元

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标准简介

本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。

基本信息

标准号:GB/T 34899-2017 标准名称:微机电系统(MEMS)技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法 英文名称:Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy 标准状态: 发布日期:2025-05-01 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 提出部门:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T34899-2017

出版信息

页数:16 字数:26 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:31.200 中标分类号:L55

起草单位

中北大学、中机生产力促进中心

起草人

石云波 唐军 程红兵 崔建功 李海斌 朱悦

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