标准号:GB/T 34899-2017标准名称:微机电系统(MEMS)技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法英文名称:Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy标准状态:发布日期:2025-05-01实施日期:0出版语种:中文简体归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出部门:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会