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本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
李慧琴 金承钰 梁齐 何丹农 韦菲菲
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