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【国家标准】纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

标号:GB/T 36969-2018 状态: 定价:29元/折扣价: 24.65元

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标准简介

本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。

基本信息

标准号:GB/T 36969-2018 标准名称:纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法 英文名称:Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy 标准状态: 发布日期:2025-05-12 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) 提出部门:中国科学院 发布部门:国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T36969-2018

出版信息

页数:12 字数:14 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:17.040.20 中标分类号:J04

起草单位

上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心

起草人

李慧琴 金承钰 梁齐 何丹农 韦菲菲

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