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【国家标准】确定晶片坐标系规范

标号:GB/T 16596-2019 状态: 定价:24元/折扣价: 20.4元

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标准简介

本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。

基本信息

标准号:GB/T 16596-2019 标准名称:确定晶片坐标系规范 英文名称:Specification for establishing a wafer coordinate system 标准状态: 发布日期:2025-05-29 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 提出部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) 发布部门:国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T16596-2019

出版信息

页数:8 字数:9 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:29.045 中标分类号:H80

起草单位

有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司

起草人

卢立延 孙燕 潘金平 杨素心 楼春兰 胡金枝 李素青

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