开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!
查看详情本标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。本标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片,也适用于其他半导体材料晶片。
浙江海纳半导体有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司
潘金平 饶伟星 杨素心 卢立延 楼春兰 徐新华 吴雄杰 高海军 王伟棱 郑欢欣 余俊军
上一篇:确定晶片坐标系规范