开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!
查看详情本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司
张威 张亚婷 于振毅 陆学贵 朱悦 石云波 李海斌 程逸轩 周浩楠 陈得民
上一篇:硼铁硫含量的测定红外线吸收法
下一篇:行政许可申请与受理规范