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【国家标准】微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法

标号:GB/T 38447-2020 状态: 定价:38元/折扣价: 32.3元

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标准简介

本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。

基本信息

标准号:GB/T 38447-2020 标准名称:微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法 英文名称:Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration 标准状态: 发布日期:2025-06-18 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 提出部门:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T38447-2020

出版信息

页数:20 字数:32 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:31.200 中标分类号:L55

起草单位

北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司

起草人

张威 张亚婷 于振毅 陆学贵 朱悦 石云波 李海斌 程逸轩 周浩楠 陈得民

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