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本标准规定了柔性薄膜基体上涂层(包含有机、无机与金属涂层)厚度扫描电子显微镜测量的基本方法及原理、标准样品和仪器设备、操作方法、数据处理的方法。本标准适用于厚度不大于3mm的柔性薄膜基体上厚度为10nm~0.5mm的涂层的厚度测量。
中国科学院上海硅酸盐研究所
刘紫微 吴伟 林初城 姜彩芬 曾毅 齐振一 乐军 宋力昕
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