欢迎您使用中国标准在线服务网
高级搜索

标准分类

当前位置:首页 > 国家标准

【国家标准】微机电系统(MEMS)技术带状薄膜抗拉性能的试验方法

标号:GB/T 38446-2020 状态: 定价:31元/折扣价: 26.35元

开通会员免费在线看70000余条国内标准,赠送文本下载次数,单本最低仅合13.3元!还可享标准出版进度查询、定制跟踪推送、标准查新等超多特权!

查看详情

标准简介

本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。

基本信息

标准号:GB/T 38446-2020 标准名称:微机电系统(MEMS)技术带状薄膜抗拉性能的试验方法 英文名称:Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films 标准状态: 发布日期:2025-06-19 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 提出部门:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) 发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T38446-2020

出版信息

页数:16 字数:22 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:31.200 中标分类号:L55

起草单位

北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司

起草人

张威 李海斌 张亚婷 朱悦 夏长奉 石云波 陈得民 马书嫏 程红兵 周浩楠

相关标准

  • 推荐标准
  • 国家标准计划