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查看详情本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05μm~10μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01μm~100μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm~1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm~1000nm的纳米线宽标准样板。
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