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【国家标准】靶材与背板结合强度测试方法

标号:GB/T 39163-2020 状态: 定价:31元/折扣价: 26.35元

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标准简介

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注:靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。

基本信息

标准号:GB/T 39163-2020 标准名称:靶材与背板结合强度测试方法 英文名称:Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies 标准状态: 发布日期:2025-07-08 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) 提出部门:中国有色金属工业协会 发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T39163-2020

出版信息

页数:16 字数:22 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:19.060 中标分类号:H22

起草单位

有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司

起草人

丁照崇 陈明 赵永善 熊晓东 贺昕 林若虚 李勇军 张晓娜 曹欢欢 王云能 袁海军 李利利 曹晓萌 张静 王传军

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