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【国家标准】集成电路用高纯铜合金靶材

标号:GB/T 39159-2020 状态: 定价:31元/折扣价: 26.35元

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标准简介

本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材(以下简称靶材)的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝(CuAl)合金靶材和高纯铜锰(CuMn)合金靶材。

基本信息

标准号:GB/T 39159-2020 标准名称:集成电路用高纯铜合金靶材 英文名称:High purity copper alloy target for integrated circuit 标准状态: 发布日期:2025-07-08 实施日期:0 出版语种:中文简体 归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) 提出部门:中国有色金属工业协会 发布部门:国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
标准标签: GB/T39159-2020

出版信息

页数:16 字数:20 开本:大16

标准分类号

标准ICS号:77.150.30 中标分类号:H62

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波微泰真空技术有限公司

起草人

曹欢欢 袁海军 姚力军 王学泽 曾浩 边逸军 钟伟华 周友平 贺昕 慕二龙 高岩 江伟龙

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